真空退火爐的快冷操作

　　真空退火爐升溫結束後，進入冷卻階段，是否采用快冷依工藝而定，如果需要進行快冷，那麽可以按照以下流程來操作。

　　1、按真空退火爐工藝要求調整充氣壓力表的上、下限，調整風機控製壓力表的上、下限，在無紙記錄儀上調好風機啟動溫度。
　　2、按步驟關閉各真空泵、閥。擴散泵閥→擴散泵→預抽閥→真空閥→羅茨泵→滑閥泵。
　　3、按“充氣閥”、“確定”，充氣閥打開，向真空退火爐爐內充入高純的N2或Ar(純度≥99.999%)當爐內壓力接近充氣壓力上限時，關“充氣閥”，打開“微充閥”，直到充氣上限為止。
　　真空退火爐進入冷卻階段時，如果需要快冷，那麽操作人員一定要事先掌握好操作流程，同時嚴格按照步驟要求來進行，確保能夠快速達到冷卻的效果。