158-1447-7180
真空退火爐升溫結束後,進入冷卻階段,是否采用快冷依工藝而定,如果需要進行快冷,那麽可以按照以下流程來操作。
1、按真空退火爐工藝要求調整充氣壓力表的上、下限,調整風機控製壓力表的上、下限,在無紙記錄儀上調好風機啟動溫度。
2、按步驟關閉各真空泵、閥。擴散泵閥→擴散泵→預抽閥→真空閥→羅茨泵→滑閥泵。
3、按“充氣閥”、“確定”,充氣閥打開,向真空退火爐爐內充入高純的N2或Ar(純度≥99.999%)當爐內壓力接近充氣壓力上限時,關“充氣閥”,打開“微充閥”,直到充氣上限為止。
真空退火爐進入冷卻階段時,如果需要快冷,那麽操作人員一定要事先掌握好操作流程,同時嚴格按照步驟要求來進行,確保能夠快速達到冷卻的效果。